Jedná se o komerční vysokorozlišovací mikroskop od firmy FEI, pořízený za účelem dalších modifikací, dostaveb a rozšíření o speciální systémy vyvinuté skupinou environmentální elektronové mikroskopie.

(Laboratoř elektronové mikroskopie, Environmentální elektronová mikroskopie)

>>> Virtuální prohlídka <<<

Specifikace mikroskopu QUANTA 650FEG:

Režim vysokého vakua (<6*10-4 Pa)

Režim nízkého vakua (10 až 130 Pa)

Režim EREM (10 až 4000 Pa)

motorizovaný otočný rotační stolek v ose x-y-z:

x = y = 150 mm, z = 65 mm,  náklon od +70° do –5°

Rozlišení:

Režim vysokého vakua:

• 1.2 nm na 30 kV (SED)
• 2.9 nm na 1 kV (SED)

Režim nízkého vakua:

• 1.4 nm na 30 kV (SED)
• 3.0 nm na 3 kV (SED)

Režim EREM:

• 1.4 nm na 30 kV (SED)

Vybavení mikroskopu QUANTA 650 FEG:

Na zakázku upravená komora vzorku

ETD, LF-GSED, GSED

Prstencový EREM GAD

Ionizační BSE Detektor

Beam deceleration

Detektor v tubusu (ICD)

Lens-mounted DBS detektor

Výsuvný prstencovitý STEM detektor

Výsuvný WetSTEM detektor

EDS Bruker Quantax 400 XFlash 6/100 a VZ adaptér

Chlazený držák vzorku s Peltierovým článkem

Navigační kamera (Naw Cam 650)

Pikoampérmetr Keithley

Vyhřívaný držák vzorku (1000°C)

Kryocleaner ES

Integrovaný plazmový čistič

Maps + corelativní work flow sofware

Software na úpravu obrázků (Scandium)

Systém rušení elektromagnetického pole

Dva mikromanipulátory

Vstřikování kapaliny a plynu

EBIC

Budoucí dodatečné vybavení:

Nový vysoce citlivý scintilační detektor BSE (ISI)

Detektor katodoluminiscence (ISI)

ISEDS ver. III (ISI)

Scintilační SE detektor pro REM a EREM

Chlazený držák vzorku s Peltierovým článkem (až do -70 °C) (ISI)

Ramanova spektroskopie (ISI)

EBIC / RCI